[금강일보 김미진 기자] 한국표준과학연구원(KRISS)은 국산 불화수소 등 반도체용 고순도 가스 소재에 대한 품질평가 설비를 완공, 불화수소에 대한 품질평가를 시작한다고 22일 밝혔다.

불화수소는 반도체 원판인 웨이퍼의 세정과 식각공정에 사용된다. 반도체의 제조 수율을 높이기 위해서는 고순도의 불화수소가 필요하다. 지금까지 국내 고순도 불화수소의 순도 검증법은 업체별로 달라서 표준화돼 있지 않았다.

그러나 KRISS에서 국산 불화수소의 품질평가를 진행할 실험실을 마련하면서 이를 해결할 수 있게 됐다.

사용되는 측정기술과 표준물질은 KRISS가 자체 개발했다는 점에서 더욱더 큰 의의가 있다는 게 KRISS 관계자의 설명이다.

박현민 원장은 “KRISS가 가진 세계 최고 수준의 측정기술을 바탕으로 관련 산업의 국가 경쟁력 향상에 이바지하겠다”고 말했다.

여러 분야의 다양한 장비 및 시료의 특성을 측정, 품질평가를 원하는 소비자는 KRISS 표준성과한마당(eshop.kriss.re.kr)에서 신청하면 된다.

김미진 기자 kmj0044@ggilbo.com