한국핵융합에너지연구원(이하 핵융합(연), 원장 유석재)은 17일 ㈜아바코와 ‘ECR 플라즈마를 이용한 스퍼터링 기술’기술이전 계약을 체결하고 차세대 디스플레이 증착 양산 장비 개발을 추진한다.

ECR 플라즈마 스퍼터링 기술은 타깃 근처에 고밀도 플라즈마의 발생과 전압 조절을 각각 독립적으로 제어할 수 있어 고에너지 입자에 의한 박막의 손상을 최소화하고 박막 표면 가열 효과를 통해 저온에서 고품질의 박막을 증착하는 첨단 기술이다.

이번에 이전되는 핵융합(연)의‘신개념 ECR 플라즈마 스퍼터링 기술’은 기존 스퍼터링 기술보다 공정 압력을 10배 낮게 운전할 수 있으며 증착률과 입자의 에너지도 조절 가능해 장치 수명과 안정성을 획기적으로 개선했다.

이에 기존 장치가 구현하지 못했던 차세대 디스플레이 박막 증착 공정에 적용할 수 있을 것으로 기대된다. ㈜아바코는 이번 기술이전을 바탕으로 세계 최초로 양산 기술을 확보, 국내외 차세대 반도체·디스플레이 제작 시장 점유 확대를 추진할 계획이다.

김성봉 책임연구원은 “이번 기술은 그동안 해결 과제였던 양산성을 획기적으로 높인 신개념 기술로 양산화 성공 시 국내 기업이 차세대 디스플레이 산업을 선도하는 ‘퍼스트 무버’로 발돋움하고 이 분야 국가경쟁력을 높이는데 기여할 수 있을 것으로 기대한다”고 말했다.

박정환 기자 pjh@ggilbo.com